随着智能产业发展以及各传统行业数字化转型,半导体元件需求高速增长。根据 sia(美国半导体行业协会)数据,2021 年中国半导体销售额为1925亿美元,占全球总销售额 34.6%,成为全球半导体增长主要驱动力。
对于处在发展快道的中国半导体企业而言,提升工艺水平与生产效率是提高竞争力的要点。
半导体生产对原材料、设备、工艺以及生产环境质量有着极高要求,且生产流程复杂。比如,晶圆的生产需要先生产硅单晶棒,然后再进行切片、退火、倒角、研磨、抛光、清洗包装等步骤;集成电路生产需要经过制备薄膜、涂光刻胶、烘干、光刻、显影、刻蚀、去胶、离子注入等步骤。
每项步骤都对精细控制有着极高要求,因此需要非常精准、稳定、可靠的电能供应。一旦发生断电或电压暂降等问题,就可能中断流程,导致产线上的半导体报废;高精密设备需重新调试,甚至可能因此发生故障,造成巨大经济损失。
因此,稳定供电是保障半导体生产工厂平稳运行、提高效率与良品率的重要因素。
不过,这并非易事。由于电网中接有各种非线性负荷,给电网系统带来谐波等电能质量问题。另外,基础设施质量、气象灾害事件也可能引发电压暂降甚至断电。因此,半导体工厂需配置良好的电力基础设施,精准地监测电能质量,分析电能状况,及时预警、保护等。
深圳市中电电力技术股份有限公司(以下简称“cet中电技术”)长期为半导体厂商提供软硬件产品及服务,帮助提升半导体工厂的连续性和供电稳定性,为半导体生产保驾护航。
cet中电技术创立于1993年,是首批国家级高新技术企业,现具备从智能用电管理到电气火灾监控的丰富产品线,并通过了全球软件领域最高级别“cmmi5”认证。
cet中电技术为长江存储“国家存储器基地”项目提供电力监控系统,为北京集成电路示范线项目一期提供电力监控系统和电气火灾监控系统,为奥特斯高科技abf载板生产厂区提供智能用电管理系统。
变电所电力监控系统可实现微机保护、全电量采集、电能质量监测、分时计费、故障诊断、波形瞬态捕捉、能源管理、智能化低压电动机保护控制等功能,提高供配电系统的可靠性及自动化水平。
智能用电管理系统可实时监控设备运行情况,实现电能质量监测、预警电力事故,减少事故损失,助力项目安全高效运行。
电气火灾监控系统具有剩余电流、温度等电气火灾危险信号预警、故障报警等功能,且满足大容量存储,帮助管理人员实时监测分析,定位故障点,保障工厂安全运行。
目前,变电所电力监控和智能用电管理系统整合为“cet半导体行业电力监控与管理系统”,该系统是集中低压配电监控、电能质量在线监控、柴发监控、ups & avc监控、蓄电池监控、光伏监控、母线测温多方位监控等功能于一体的信息系统,可实现设备快速排障及预防性维护,保障关键设备稳定运行,帮助工厂实现电能质量分析、供配电系统综合自动化、智能化用电管理、精细化能源管理等目标。
cet中电技术也为半导体企业提供硬件装置,其中,imeter系列供配电异常信息捕捉及故障诊断分析装置尤为出色。
早在2014年,imeter系列就已经出口德国,并在众多大型项目中得到应用。imeter系列具有高精度计量、电能质量在线监测、供电系统局部故障诊断与定位等功能,特别适用于对供电质量及供电可靠性具有高要求的场所。
通过该装置结合cet diagsys供配电系统故障诊断及分析软件,cet生成供配电系统异常现象捕捉及诊断尊龙凯时·中国官方网站的解决方案,可根据异常发生时的电量特征捕捉及定位扰动源,并生成故障诊断分析报告,帮助管理人员洞悉供配电系统的健康状态,预知风险。这一方案已在青岛芯恩集成电路研发生产项目得到大规模应用。
除此之外,cet中电技术的电表、保护测控装置也在半导体企业得到广泛应用。
cet中电技术还为中芯北方、华虹宏力、华星光电、福州京东方、成都中电熊猫,以及英特尔、英飞凌、lg、日月光、美光、南亚科、联发科等企业提供产品服务,为其创造更安全可靠、节能环保的用电系统。